技术设备 >> 半导体电子纯水
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芯片研发生产用18.25兆超纯水系统-脱气+分配氮封系统
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反渗透技术,是当今最先进和最节能有效的膜分离技术。其原理是在高于溶液渗透压的作用下,依据其他物质不能透过半透膜而将这些物质和水分离开来。由于反渗透膜的膜孔径非常小(仅为10A左右),因此能够有效地去除水中的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等(去除率高达97%-98%)。反渗透是目前高纯水设备中应用最广泛的一种脱盐技术,它的分离对象是溶液中的离子范围和分子量几百的有机物。 我公司集多年工业水处理系统的工艺设计、设备制造、系统成套及膜应用技术的经验,选取合理的工艺设置和设计参数,确保设备长期稳定运行。 (二)设备工艺说明 (1)原水泵:主要功能:恒定系统供水压力,稳定供水量。 (2)自动加絮凝剂装置:特点是能够将溶液中的悬浮微粒聚集联结形成粗大的絮状团粒或团块,在下道过滤中去除。 (2)多介质过滤器:采用多次过滤层的过滤器,主要目的是去除原水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20um以上的物质。系统可以进行反冲洗、正冲洗等一系列操作。主要功能:保证设备的产水质量,延长设备的使用寿命。 (3)活性炭过滤器:采用椰壳活性炭,不但可以吸附电解质离子,还可以去除水中的色素、异味、大量生化有机物、降低水的余氯值及农药污染物和三卤化物。系统可以进行反冲洗、正冲洗等一系列操作。主要功能:保证设备的产水质量,延长设备的使用寿命。 (4)软化过滤器:水的硬度主要由钙、镁形成及表示,钠离子交换软化处理的原理是将原水通过钠型阳离子交换树脂,使水中的硬度成分Ca2+、Mg2+与树脂中的Na+相交换,从而吸附水中的Ca2+、Mg2+,使水得到软化,以达到高温时不出现固体垢的目的。 (5)自动加药阻垢装置:在很大的浓度范围内有效的控制无机物结垢,不与铁铝氧化物及硅化合物凝聚形成不溶物,可防止反渗透膜面结垢,能提高产水量和产水质量,降低运行费用。 (6)保安过滤器:采用5um滤芯来截留预处理系统漏过的少量机械杂质。过滤器筒体采用SUS304材质,内装PPF滤芯。该滤芯是一种效率高、阻力小的深层过滤元件。适用于含悬浮杂质较低(浊度小于5度)的水进一步净化。主要功能:保证进入反渗透膜的水颗粒度小于5um。 (7)高压泵:因为反渗透膜在工作过程中需要较高的压力,高压泵是反渗透系统的主要运作设备,为反渗透装置的运行提供动力来源。本系统采购杭州南方高压泵,材质为SUS304,具有外形美观、占地面积小、噪音小、免维护、经久耐用的特点。高压泵进出水口设置低压、高压保护开关,当进水压力值低于设定值(0.05Mpa)时,停止高压泵,防止高压泵抽空损坏;当进水压力高于设定值(1.5 Mpa)时,停止高于泵,保护高压泵、膜组件不受到损坏。 (7)反渗透系统:通过泵加压,利用孔径为1/10000μm(相当于大肠杆菌大小的1/6000,病毒的1/300)的反渗透膜(RO膜),使较高浓度的水变为低浓度水,同时将工业污染物、重金属、细菌、病毒等大量混入水中的杂质全部隔离,从而达到纯化水规定的理化指标及卫生标准。由于RO反渗透技术生产的水纯净度是目前人类掌握的一切制水技术中最高的,洁净度几乎达到100%。设备的核心部位为反渗透膜,我公司利用美国陶氏公司所生产的原装进口聚酰胺(BW30)系列膜。该膜具有产水量高,脱盐率的优点。 (8)级间PH调节装置:由于CO2不能通过RO膜分离,而且对产水电导率的影响较大,所以向一级产水中添加NaOH溶液,将一级产水中的微量CO2转换成HCO3-, HCO3-可以在二级反渗透过程中去除,从而达到降低产水电导率的目的。另外,由于反渗透产水显酸性,适量加入碱液也可以起到调节产水PH值的作用。 (9)3.EDI装置 EDI装置是应用有反渗透系统之后,取代混合离子交换床的成熟技术具有产水品质稳定,运行费用低,操作管理方便。占地面积小及无有害废水排放等优点。超纯水制备工艺的发展方向,已被全世界主要水处理工程公司所认证。自1986年EDI技术工业化以来,已有数千套EDI投入支行,尤其在制药、半导体、电力和光电等工业中得到了非常广泛的应用。总的说有八大优点: |
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